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晶圆AOI

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晶圆AOI是用于晶圆制程最后环节的表面外观质量检测设备。


借助专业视觉系统实现晶圆脏污、破损、particle等异常检测。广泛适用于第三代半导体、MEMS和Cmos图像传感器等领域。


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