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Probe Machine

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Probe Machine是执行包含在Wafer的Chip的Test的设备,特别是可进行Wafer Level Test,可测试所有4inch•6inch Wafer的高互换性 。


在Loading Cassette上 Loading后的Wafer被Loading到Aligner以后, 在Aligner上排列Wafer的XYZθ后移送到Top Vision, Check First chip, 识别First chip后移送到 Probe Zone,执行 Probing test 。


从Wafer Loading Cassette上Unloading后姿势Align及直到Loading到Probing test • Unloading Wafer Cassette为止优化Wafer的移动。 产品具有大大减少Wafer的Probing test所需时间的独有的特点 。


采用产品从测量位置到视觉补偿在5微米以内的方法,大大提高了可靠性,通过4个调节螺钉调节Card Holder Unit的 Flatness。

Target PKG 

• Wafer Level SMD and others

   [ ex : 0705 ~ 1612 others ]

Index Time

• 220msec  Test Time 60ms included

 (Material Change Time excluded)

Insert Type

• 6inch SUS Ring

Cassette

• Elevator Z Axis : Servo Motion

• Z Axis Mechanism : Ball Screw + LM Guide

• Magazine : User provided

Transfer

• Y Axis : Servo Motion

• Y Axis Mechanism : Belt & Pulley + LM Guide

• Gripper Actuator : Cylinder

• Product Presence  Check Sensor : Photo Sensor

• Over-load Sensor is applied for and reverse movement to secure safety

Worker  Stage

•  X-Y Axis : Linear Motion  Resolution : 1㎛

• Z Axis : Servo Motion  Resolution : 1㎛

• Z Axis Mechanism : Ball Screw + Guide Post

• θ Axis : DD Motion  Resolution : 0.02drgee

• Gripper Actuator : Dual Cylinder + Manual load control 

• Work Base Earth with Ring Frame to secure reliability

• Work Base : SUS Pad + Au plating  Flatness±5㎛

                   Vacuum Hole  Size 0.1mm, Pitch 5mm

• Wafer Ring Chuck Source : Vacuum Type

#1 Top Vision

• 1’st Chip Check(9 Chip Algorithm) and Theta adjustment

   Do not check Map Matching additionally : improve production efficiency

• Resolution :  VGA

#2 Top Vision

(Positioned on Measuring spot)

• Check product presence and positional information

• Pixel Size : 4.5㎛ (Based on x 1)

• Light : Strobe Control

• Lens : x0.5 ~ x3 Zoom Applied

Probe

• Measuring position degree : within ±5㎛

 Secure reliability by compensating product on measuring position with Vision

 Card Holder Unit Flatness adjustable: Adjust Bolt 4개 Applied

Machine Dimension 

• 1,100mm(W)*1,000mm(L)*1,700mm(H) 

  Worker Height : 980mm

Weight

• About 1,200 kg

Control

• Main Control : PC,   Display : 17 inch Color Touch Panel

• User Data Management : Production & Faulty, Hours of Operation others... Count

Utility 

• Electric : Single phase AC  200~230[V],  50/60 [Hz] 

• Air        : 4 ~ 7 ㎏ /㎠


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