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Resis Film Lamination

Resis Film Lamination.png

Resist Film LaminationMachine是在Wafer上附贴已形成Photoresist薄膜(Thin film)的Resist Film的设备 。


Wafer Transfer把Wafer从Loader上Unloading后校订Wafer的姿势并移送到指定位置后,用Resist Film盖住Wafer后利用Laser Beam切除Wafer的Edge和ResistFilm,实现在Wafer上附贴Resist Film的自动化的Full Auto Lamination Machine 。


摆脱传统的用Cutter切除Resist Film的方式,利用LaserBeam切除Resist Film全面解决,在Resist Film上产生残留物的问题,并可缩短附贴Resist Film的时间 。


Target PKG 

• 4inch Wafer

Index Time

• 80sec (Material Change Time excluded)

Insert Type

• Wafer : Magazine Type

• Film : Roll To Roll

Robot

• Mechanical structure type : cylindrical coordinate type, control axis : 3axis

• Z-Axis Stroke : 150mm, • repeatability : within ±0.1mm

• Wafer Maintenance : Vacuum Adhesion, • Wafer Detection : Vacuum Sensor

• Chuck Material : Ceramic or User specified

Aligner

• X-Theta Axis : Servo Motion

• Position Deciding Degree : Centering : within ±0.3mm, Plat Position : within ±0.3deg

• adjustment time : with 6sec, • Sensor : Limited Reflective Fiber Sensor Fiber Sensor

Upper Chamber &

Porous Chuck & Roller

• X-Axis : Servo Motion,                    

• Z-Axis : Servo Motion + Linear Air Cylinder

• load control : Manual Type, • Load Range : discussion needed

• Film Maintenance : Vacuum Adhesion, • Film Detection : Vacuum Sensor

• Chuck Material : Aluminum, Ceramic or User specified

• Chuck Heat Temperature Range : Discussion required,  • Roller Z-Axis : Air Cylinder

• Roller Material : Silicon Series or User specified

Lower Chamber

• Z-Axis : Servo Motion, • Mechanism : Pulley & Belt + Screw

• Wafer Maintenance : Vacuum Adhesion, • Wafer Detection : Vacuum Sensor

• Chuck Material : Aluminum or User specified

• Chuck Heat Temperature Range : Discussion required

• Degree of vacuum in Chamber : Discussion required

Loader(Film)

• Supply Actuator : AC Motor, • Roll Fixture : Clip

• Film Supply Stopper : Linear Cylinder,   • Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

• Amendment Paper Collecting Actuator : AC Motor + Torque Motor 

Feeder (Film)

• Feeding Y Axis : Servo Motion, • Mechanism : Ball Screw + LM Guide

• Gripper Actuator : Linear Air Cylinder

• Gripper Chuck Material : Urethane Series, • Roller Feeding Axis : Servo Motion

• Mechanism : Ball Screw + LM Guide

• Roller Actuator : Linear Air Cylinder,  • Roller Material : Silicon Series

Laser Cutting

• Marking Size : □130mm 이내, • Positioning Speed(Line) : 12.0 m/s

• Marking Speed : ~ 1,000 mm/s

Transfer (Film)

• X-Z Axis : Servo Motion, • Mechanism : Ball Screw + LM Guide

• Film Maintenance : Vacuum Adhesion, • Film Detection : Vacuum Sensor

• Chuck Material : Aluminum

Unloader (Film)

• Supply Actuator : AC Motor + Torque Motor

• Roll Fixture : Clip, • Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

Packing Type

• Wafer : Magazine Type, • Film : Roll To Roll

Machine Dimension 

• 2,000mm(W)*1,200mm(L)*1,700mm(H)   Worker Height : 980mm

Weight

• About 1,500 kg

Control

• Main Control : PC,   Display : 17 inch Color Touch Panel

• User Data Management : Production & Faulty, Hours of Operation others... Count

Utility 

• Electric : Single phase AC  200~230[V],  50/60 [Hz] 

• Air        : 4 ~ 7 ㎏ /㎠


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