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B/G Mount De-Tape Machine

B丨G Mount De-Tape Machine.png

B/G Laminator Machine是Grinding Wafer的反面,在减少Wafer厚度的同时,为防止Device在Wafer的正面产生的损伤, 用保护膜覆盖Wafer的正面,剪切并切除Wafer外围凸出的保护膜的设备。



Target  PKG 

•  4inch Wafer only

Index Time

•  UPH 40sheet (Material Change Time excluded  ex: Magazine, Film others...)

Insert Type

•  Wafer : Magazine Type      •  Mount Film : Roll To Roll       • De-Tape Film : Roll To Roll

Loader

•  WISOL only Magazine Applied       •  4inch Wafer only       •  Product Presence  Check Sensor : Sensor

Robot

•  Mechanical structure type : cylindrical coordinate type, control axis : 3axis

•  Z-Axis Stroke : 200mm                                        •  repeatability : within ±0.1mm

•  Wafer Maintenance : Vacuum Adhesion        •  Wafer Detection : Vacuum Sensor

•  Chuck Material : Ceramic or User specified

UV Lamp

•  Area Type UV LED          •  Wavelength selectable : 365, 385, 395, 405㎚

•  Equipped with overvoltage, overcurrent, and overload protection protection circuit

Aligner

•  X-Theta Axis : Servo Motion        • Positioning accuracy : Within ±1mm of the center

•  Sensor : Limited Reflective Fiber Sensor Fiber Sensor

Ring Loader

•  Z Axis : Servo Motion                   •  Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Loads quantity : 100sheets       • Empty Check Function applied

Loader

(Mount Film)

•  Supply Actuator : AC Motor                            •  Roll Fixture : Clip

•  Film Supply Stopper : Linear Cylinder        • Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

•  Amendment Paper Collecting Actuator : AC Motor + Torque Motor 

Feeder

(Mount Film)

•  Feeding Y Axis : Servo Motion                             •  Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Gripper Actuator : Linear Air Cylinder

•  Gripper Chuck Material : Urethane Series       • Roller Feeding Axis : Servo Motion

•  Mechanism : Ball Screw + LM Guide                  • Roller Actuator : Linear Air Cylinder

•  Roller Material : Silicon Series                             • Roller Temperature range : Normal temperature ~ 60℃

Mounter Stage

(Mount Film)

•  Z Axis : Servo Motion                                          • Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Film Maintenance : Vacuum Adhesion          •  Film Detection : Vacuum Sensor

•  Chuck Material : Aluminum                       •  Chuck Temperature range : Normal temperature ~ 80℃

•  Cutting method : Mechanical type          •  Cutter Z Axis : Linear Air Cylinder

•  Cutter Theta Axis : Servo Motion              • Mechanism : Pulley + Belt

•  Cutter Material : Tool steel series            • Cutter Temperature range : Normal temperature ~ 80℃

Unloader

(Mount Film)

•  Supply Actuator : AC Motor + Torque Motor

•  Roll Fixture : Clip                                                        •   Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

Loader

(De-Tape Film)

•  Supply Actuator : AC Motor                          •  Roll Fixture : Clip

•  Film Supply Stopper : Linear Cylinder      • Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

•  Amendment Paper Collecting Actuator : AC Motor + Torque Motor 

Feeder

(De-Tape Film)

•  Feeding Y Axis : Servo Motion                                                    • Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Gripper Actuator : Linear Air Cylinder                                     •  Gripper Chuck Material : Urethane Series

•  Roller Feeding Axis : Servo Motion                                           •  Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Roller Actuator : Linear Air Cylinder                                         •  Roller Material : Silicon Series

•  Roller Temperature range : Normal temperature ~ 60℃

De-Tape Stage

(De-Tape Film)

•  X-Z Axis : Servo Motion                                           • Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Film Maintenance : Vacuum Adhesion              •  Film Detection : Vacuum Sensor

•  Chuck Material : Aluminum

Unloader

(De-Tape Film)

•  Supply Actuator : AC Motor + Torque Motor

•  Roll Fixture : Clip                                                        • Film Tension Maintenance : Linear Cylinder

Transfer

•  Y Axis : Servo Motion          • Y Axis Mechanism : Belt & Pulley + LM Guide

•  Gripper Actuator : Cylinder         • Product Presence  Check Sensor : Photo Sensor

•  Over-load Sensor is applied for and reverse movement to secure safety

Barcode Printer

•  User specified Applied

Unloader

(Wafer + Ring Magazine)

•  Elevator Z Axis : Servo Motion        • Z Axis Mechanism : Ball Screw + LM Guide

•  Magazine : User provided                • Need to discuss the loading quantity

Packing Type

•  Wafer + Ring : Magazine Type         • Mount & De-Tape Film : Roll To Roll

Machine Dimension

•  2,300mm(W)*1,250mm(L)*1,700mm(H)  Worker Height : 980mm

Weight

•  About 1,800 kg

Control

•  Main Control : PC,   Display : 17 inch Color Touch Panel   

•  User Data Management : Production & Faulty, Hours of Operation others... Count

Utility

•  Electric : 2Phase AC 200~230V, 50/60Hz        • Air : 4 ~ 7 ㎏/㎠



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