设备简介 | 型号 | F2017-8 |
设备名称 | 扩膜机 | |
主体系统 扩膜系统 | 外形尺寸 | 700*800*1750mm(WxLxH) |
主体支架 | 欧标铝型材+304拉丝不锈钢 | |
上下料方式 | 人工上下料 | |
适用规格 | 8寸晶圆(规格确认合同体现) | |
安全防护 | 安全光栅+安全门双重安全防护 | |
扩膜方式 | 电机驱动,配合人机界面,可实现扩膜高度、速度调节 | |
翻转结构 | 扩膜过程中,芯片处于朝下状态,便于异物分离、掉落 | |
扩膜高度 | 8-50mm可调 | |
扩张台温度 | 室温~60℃ | |
除尘功能 | 静电消除系统 | 实现静电消除 |
集尘系统 | 自带集尘系统,配合静电消除系统实现灰尘、异物去除 | |
其他 | 设备重量 | <200kg |
工厂要求 | 电压:220V,50Hz,0.4Kw气压:0.55~0.65Mpa,80L/min气温:20~40℃ |