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F2017-8 扩膜机

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设备简介

型号

F2017-8

设备名称

扩膜机

主体系统

扩膜系统

外形尺寸

700*800*1750mm(WxLxH)

主体支架

欧标铝型材+304拉丝不锈钢

上下料方式

人工上下料

适用规格

8寸晶圆(规格确认合同体现)

安全防护

安全光栅+安全门双重安全防护

扩膜方式

电机驱动,配合人机界面,可实现扩膜高度、速度调节

翻转结构

扩膜过程中,芯片处于朝下状态,便于异物分离、掉落

扩膜高度

8-50mm可调

扩张台温度

室温~60℃

除尘功能

静电消除系统

实现静电消除

集尘系统

自带集尘系统,配合静电消除系统实现灰尘、异物去除

其他

设备重量

<200kg

工厂要求

电压:220V,50Hz,0.4Kw气压:0.55~0.65Mpa,80L/min气温:20~40℃