设备名称

扩膜机

主体系统

扩膜系统

外形尺寸

700*800*1750mm（WxLxH）

主体支架

欧标铝型材+304拉丝不锈钢

上下料方式

人工上下料

适用规格

8寸晶圆（规格确认合同体现）

安全防护

安全光栅+安全门双重安全防护

扩膜方式

电机驱动，配合人机界面，可实现扩膜高度、速度调节

翻转结构

扩膜过程中，芯片处于朝下状态，便于异物分离、掉落

扩膜高度

8-50mm可调

扩张台温度

室温~60℃

除尘功能

静电消除系统

实现静电消除

集尘系统

自带集尘系统，配合静电消除系统实现灰尘、异物去除

其他

设备重量

＜200kg

工厂要求

电压：220V，50Hz，0.4Kw气压：0.55~0.65Mpa，80L/min气温：20~40℃